11 化學品供應
11．1 一般規(guī)定

11．1．1 電子工業(yè)潔凈廠房常常需使用各種化學品，根據(jù)電子產(chǎn)品品種及其生產(chǎn)工藝的不同，各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)所使用的化學品是不相同的，其中以集成電路芯片制造過程、TFT—LCD生產(chǎn)過程所需的化學品品種多，有的純度要求嚴格，表25是這兩種電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房內所用的主要化學品種類。表26是有關資料提出的集成電路芯片64M生產(chǎn)過程部分化學品的質量要求。

11．1．2 電子工業(yè)潔凈廠房所用化學品如表25所列品種較多，它們的分類、儲存應符合現(xiàn)行國家標準《常用危險化學品的分類及標志》GB 13690、《常用危險化學品貯存通則》GB 15603等的相關規(guī)定。危險化學品按主要危險特性分為8類，即第1類爆炸品，第2類壓縮氣體和液化氣體，第3類易燃液體，第4類易燃固體、自燃物品和遇濕易燃物品，第5類氧化劑和有機氧化物，第6類有毒品，第7類放射性物品，第8類腐蝕品。
由于各類化學品的性質不同，因此常用化學危險品應分區(qū)、分類、分庫儲存，并不得與禁忌物料混合儲存。儲存化學危險品的建筑物不得有地下室或其他地下建筑，其耐火等級、層數(shù)、占地面積、安全疏散和防火間距，應符合國家有關規(guī)定。

11．2 化學品儲存、輸送

11．2．1 制定本條的依據(jù)和參考材料如下：
1 現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016—2006第3．3．9條的規(guī)定。
2 現(xiàn)行國家標準《石油化工企業(yè)設計防火規(guī)范》GB 50160—92(1999年版)第5．9．1條。
3 美國消防協(xié)會發(fā)布的NFPA 318《潔凈室消防標準》的有關規(guī)定。第5．1．1條，危險化學品的儲存和分配間應以耐火極限為1.0h的構造物與潔凈室分隔。第5．1．3條，潔凈室中應把危險化學品控制在使用和維護需要的限值。第5．1．4條，危險化學品的儲存和分配間應設有下列機械排風裝置：(1)機械排風最低流量為1m3／s·m2地板面積；(2)排風和入口處的開口應防止氣體的積聚；(3)機械排風系統(tǒng)應與自動應急電源相連。

11．2．2 制定本條的依據(jù)和參考資料如下：
1 美國消防協(xié)會發(fā)布的NFPA 318《潔凈室消防標準》的有關規(guī)定。第5．3. 2條，危險化學品不應在出入口走廊內分配和存放。第5．3．3條，運輸和裝載危險化學品的小車應為完全封閉型。用于運輸化學品的小車的容量不應超過208L，最大單個容器的容量為19L。第5．3．4條，不相容的危險化學品，不得用同一裝載危險化學品的小車同時運輸。
2 據(jù)了解，目前國內一些使用危險化學品的電子工業(yè)潔凈廠房內，為確保桶裝危險化學品運輸過程的安全，均采用液壓升降裝置，在運輸危險化學品的通道或走廊，均設有自動滅火裝置，一旦發(fā)生火情，及時進行救援。對于運送有機溶劑部位，應采用二氧化碳滅火系統(tǒng)或泡沫滅火系統(tǒng)，其余采用自動噴水滅火系統(tǒng)。

11．2．3 本條規(guī)定是根據(jù)國內一些電子工業(yè)潔凈廠房使用危險化學品的儲存、輸送系統(tǒng)的調查分析資料和參考NFPA 318《潔凈室消防標準》的相關條文制定的。
1 電子工業(yè)潔凈廠房中的危險化學品采用管道輸送時，一般采用氣泵增壓輸送，增壓氣體采用氮氣。
2 在危險化學品的管道輸送系統(tǒng)的壓力儲罐后的分配和使用設備處均應設手動切斷閥，以便及時進行切斷操作。
3 NFPA 318《潔凈室消防標準》第5．2節(jié)中的相關規(guī)定：“采用加壓系統(tǒng)時，系統(tǒng)中所用各種材料都應與所輸送的化學品物化性能具有相容性”，“壓力罐設有自動減壓通風口，若火災時，可排氣至安全的位置”，“使用點設手動切斷閥”、“加壓只能用惰性氣體”等。

11．2．5 制定本條規(guī)定的主要依據(jù)如下：
1 根據(jù)對一些電子工業(yè)潔凈廠房內設有危險化學品儲存、分配間的調查表明，儲存化學品的儲罐一般設置在底層半地下間，位于化學品供應系統(tǒng)的最低處，在各類液體儲罐之間設有隔堤或保護堤。保護堤是用于儲罐泄漏或檢修用圍堰，防止液體化學品外溢；隔堤是用于甲、乙類液體或液體相互接觸能引起化學反應的儲罐之間的分隔。隔堤、防護堤的高度約500mm。危險化學品儲存、分配間一般均設有液體泄漏報警裝置、緊急洗眼器、淋浴器。
2 在現(xiàn)行國家標準《石油化工企業(yè)設計防火規(guī)范》GB 50160中，對于甲、乙類液體設置防火堤、隔堤制定了有關規(guī)定。
3 NFPA 318《潔凈室消防標準》第5．1．2條規(guī)定：潔凈廠房內的危險化學品儲存和分配間應設二次抑制化學品溢出的設施。

11．3 管材、閥門

11．3．1 電子工業(yè)潔凈廠房所需化學品的品質較多，包括具有可燃性、氧化性、腐蝕性的各種酸堿、有機溶劑等，為確?；瘜W品的輸送質量、安全運行和使用壽命，輸送化學品的管道材質應根據(jù)管內流過化學品的物理化學性質進行選擇，如酸堿類輸送管道材質，通常采用聚四氟乙烯管，并以透明PVC管做保護套管，避免輸送管道被腐蝕和預防酸堿液泄漏時造成人身(設備)受傷(受損)。為防止各類化學品，特別是一些高純化學品在輸送過程中被污染或因管道材質選用不當，引發(fā)不應發(fā)生的化學反應，影響化學品質量，所以輸送化學品管道的材質應選用化學穩(wěn)定性良好和相容性好的材料，如：輸送有機溶劑類化學品管道材質，通常采用管內壁拋光的低碳不銹鋼管(SUS316L EP／BA)等。本條為強制性條文。

11．3．2 據(jù)調查了解，在電子工業(yè)潔凈廠房中，為防止有腐蝕性的酸堿類管道泄漏，殃及操作人員或生產(chǎn)設備，各類腐蝕性的酸堿類管道均采用帶套管的聚四氟乙烯管(PFA管)，外套管為透明的PVC管等。
在美國消防協(xié)會頒布的NFPA 318《潔凈室消防標準》中，有一條例外的說明：“易燃液體的加壓輸送系統(tǒng)容許用非金屬管道輸送，但必須設置于熔點高于1093℃(2000°F)的金屬制造的外殼中”。
鑒于上述情況，作了本條規(guī)定。

11．3．3 對一些使用多種化學品的管道供應系統(tǒng)的國內電子工業(yè)潔凈廠房的調查和相關的技術資料介紹表明，為確?；瘜W品供應輸送系統(tǒng)的安全和有利于連接多臺生產(chǎn)設備共用一條管路系統(tǒng)，一般在液體化學品供應系統(tǒng)中設有化學品供應分配閥箱(Valve Manifold Box，簡稱VMB，如圖9所示)。故作本規(guī)定。