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10 氣體供應
10．1 一般規定

10．1．1 潔凈廠房使用的氣體有常用氣體、干燥壓縮空氣及特種氣體三大類，根據各種電子產品品種及其生產工藝的不同，使用氣體的品種、純度及雜質含量是不相同的。表22是幾類電子產品所需氣體品種。

10．1．3 潔凈廠房所使用氣體的制備、純化、儲存及分配系統，除應遵守本規范外，還應遵守相關現行國家標準的規定，其中主要有；《建筑設計防火規范》GB 50016、《壓縮空氣站設計規范》GB 50029、《氫氣站設計規范》GB 50177、《氧氣站設計規范》GB 50030、《工業金屬管道設計規范》GB 50316等。

10．1．4～10．1．6 目前，各類電子工業潔凈廠房中，常用氣體管道的一次配管，均敷設在與用氣設備相關潔凈室(區)毗鄰的技術夾層或技術夾道內。除壓縮空氣管道外，其他各類氣體管道不得穿過與其無關的房間或不使用這些氣體的房間，有時為布置的方便或可減少大量的管材，必須穿越時應設套管或雙層管，以免運行中這些氣體泄漏。由于此類無關房間未采取通風、報警措施，易引起事故。特種氣體管道由于管徑較小，一般均采用相對集中敷設。潔凈室(區)內的惰性及無危害性氣體管道及其管架宜暗敷或設置在便于檢查、維護的裝飾面板內，可燃、有毒或有害氣體管道應外露敷設。
可燃氣體、有毒氣體穿過潔凈室(區)墻或樓板處管道應設套管，該套管內的氣體管道不得有焊縫，以避免因焊縫質量問題，泄漏氣體后無法檢查，形成逐漸積聚，成為安全事故的隱患。

10．1．7 電子工業潔凈廠房中，由于高純氣體管道內輸送的氣體中雜質含量都極低，一般氧含量都在10-6～10-10，水含量在10-5～10-9，而潔凈室生產環境中的氧濃度、水汽含量均在10-1以上，即高純氣體輸送管內外的氧氣、水分的分壓差達105～1010，分壓差極大。根據國內外許多研究試驗和實際運行都表明：高純氣體輸送過程中存在著被生產環境中的氣體或水分所污染的巨大潛在危險，為此，防滲漏污染是高純氣體管路設計中必須認真解決的技術措施。另外，在高純氣體管道施工安裝或檢修后或因故停氣恢復時，管內存在的各種雜質氣體的吹掃或因停氣后不可避免地因管內外分壓差而被污染，也需進行吹掃置換達到所要求純度和雜質容許含量。為了減少吹掃、置換時間，也要求高純氣體管路設計時，必須采取相應的技術措施。本條規定的3款規定正是這些技術措施的具體要求，它們是國內外從事高純氣體設計、安裝和運行的科技人員多年經驗的總結。其中第2、3款作為強制性條文，是有關設計者必須遵守的規定。

10．1．8 本條為電子工業潔凈廠房內設有可燃氣體管道時，應采取的安全技術措施。制定這些規定的理由是：
1 在使用可燃氣體的潔凈室廠房內，為避免可燃氣體的泄漏引發燃燒、爆炸事故，一般是將管路上的閥門設置在閥門箱內，此類閥門箱均設有氣體泄漏報警和事故排風裝置。
2 目前，在電子工業潔凈廠房中的氫氣或含氫可燃氣體等接至用氣設備(無明火)的支管和放散管，為防火回火引發事故，均設有阻火器，但除此之外的可燃氣體管道大部分沒有設阻火器，所以本條規定“宜設置阻火設施”。

10．2 常用氣體系統

10．2．1 常用氣體主要包括氫氣、氮氣、氧氣、氬氣和氦氣，在電子工廠中它們的供氣方式主要有三種：第一種是在電子工廠內或鄰近處設制氣裝置，采用管道輸送至用氣廠房、車間或設備；第二種，外購液態氣體，在電子廠房內設液態氣體儲罐、氣化器及氣體過濾、調壓、輸配裝置，由管道送至用氣廠房、車間或設備；第三種，外購瓶裝壓縮氣體，瓶裝壓縮氣體有單個鋼瓶或鋼瓶集裝格或長管氣瓶拖車等形式，在電子工廠內設壓縮氣體鋼瓶儲存、氣體分配裝置或匯流排，再由管道輸送至用氣廠房、車間或設備。表23是三種方式的比較。

10．2．3～10．2．5 這3條是對電子工業潔凈廠房中的氣體純化裝置的設置、氣體入口室的設置和氣體純化間、氣體入口室內設有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時，為了安全、穩定運行作的規定或要求。
1 根據電子產品生產工藝要求和氣源的品質，電子工業潔凈廠房內常常設有不同類型的氣體純化裝置，如電子產品生產工藝要求氣體中雜質含量達到10-9時，即使管道供應或外購氣瓶的氣體純度達99. 99％或99．999％，尚需設置金屬吸氣劑法、低溫吸附法和鈀膜擴散法等類氣體純化裝置對氣體進行提純。
2 根據國內已建各類電子工業潔凈廠房的狀況，對于用氣設備較多的廠房，為方便管理和安全運行，各種氣體純化裝置大多設在氣體純化間(站)內，并且常常將多種氣體純化裝置集中設置在一氣體純化間(站)內。一般氧氣純化裝置由于不需要用氫氣進行活化再生，配置非防爆電氣裝置時，可將氧氣純化裝置與配置有防爆電氣裝置的氣體純化裝置分開設置。
3 為了對進入電子工業潔凈廠房的各種氣體管道進行集中管理，目前國內各工廠大多設有氣體入口室，也有的工廠為管理方便將部分氣體純化裝置或全部氣體純化裝置也設置在氣體入口室內或將氣體進入潔凈廠房的相關控制閥門設在氣體純化間內。
4 由于氣體終端純化裝置是確保用氣設備處的氣體品質，并且這類設備對氣體品質要求均十分嚴格，為了減少高純氣體輸送過程被污染和減少管路投資以及管理方便，宜將氣體終端純化設備設在鄰近用氣點處。
5 對于甲類火災危險生產的氣體純化間(站)或氣體入口室，根據現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的要求，應靠外墻設置。
6 氫氣等可燃氣體引入管道上，應設自動切斷閥，對潔凈室(區)的安全可靠運行十分有利，一旦出現異常時，切斷可燃氣體氣源，防止事故擴大。美國消防協會頒布的NFPA 318《潔凈室消防標準》第6．6．3條規定：“……可燃和有毒氣體探測器必須啟動報警器和切斷氣體供給”。
7 設有氫氣等可燃氣體的氣體純化間或氣體入口室，應設有良好的自然通風設施，以確保一旦氫氣等泄漏時及時排放，避免在室內積累；當房間內泄漏氣體達到規定濃度時，氣體泄漏報警裝置報警并啟動事故排風裝置。工程實踐證明，自然通風、事故排風均為可靠的、行之有效的安全技術措施。

10．2．6 鑒于氧氣的特性，氧氣與油脂接觸后，如碰上著火源，極易引起燃燒事故，所以氧氣管道、閥門及附件均應忌油，都必須進行嚴格的脫脂處理；氧氣是典型的氧化性氣體，只要在氧氣管道內因各種原因存在機械雜質、鐵銹等可燃物時，一旦有著火源都極易引發著火燃燒事故，因此氧氣管道等均應設有導除靜電的接地設施，以及時消除管道內氣流摩擦等因素產生的靜電聚集；當潔凈廠房因各種原因出現火情或重大事故時，為了避免引發氧氣管道產生次生災害，減少損失，應及時切斷氧氣供氣氣源。為此制定本條規定，并為強制性條文。

10．2．9 由于潔凈室(區)內密閉性好，為避免各類氣體泄漏后不易排出，積聚在潔凈室(區)內或技術夾層、技術夾道內，根據電子工業潔凈廠房設計、建造的實踐經驗，氣體管道的連接應采用焊接。當氣體管道的材質采用不銹鋼管時，應采用氬弧焊，并宜采用等離子熔融對接焊。氣體管道與設備或閥門的連接宜采用表面密封接頭(VCR)或雙卡套，高純氣體管道應采用表面密封接頭(VCR)，采用雙卡套接頭時，其密封材料宜采用金屬或聚四氟乙烯墊。

10．3 干燥壓縮空氣系統

10．3．1 干燥壓縮空氣系統是電子工廠中的一種重要動力源，它用于許多電子產品生產工藝設備氣動設備或儀器儀表的動力氣源，一旦供氣量不足或供氣品質下降，都將影響產品生產過程的正常進行，嚴重時還將停產，故本條對電子工業潔凈廠房中的干燥壓縮空氣系統作了相關的規定。
1 應按生產工藝、公用動力系統對于燥壓縮空氣品質、消耗量確定設計規模。為確保生產工藝供氣的安全、可靠、穩定性要求，應留有合理的富余量。當產品生產過程要求不能中斷供氣或中斷供氣將會引起安全事故時，應設置一定的備用供氣裝置等。
2 電子產品生產過程對干燥壓縮空氣的含水量(或露點)、含油量、微粒粒徑及其濃度的要求較為嚴格，表24是一些電子產品生產工藝對干燥壓縮空氣品質的主要要求。

3 電子工廠所需干燥壓縮空氣大多要求嚴格控制含油量或無油；即使少數產品因生產工藝對干燥壓縮空氣無含油量要求，但為了確保干燥裝置的安全可靠運行，應采用無油潤滑空氣壓縮機或采取多級過濾器除油，所以本條推薦“宜選用無油潤滑空氣壓縮機”。

10．4 特種氣體系統

10．4．1 由于電子產品生產工藝所使用的特種氣體是品種多、單一品種數量少，所以均為外購供應，一般采用鋼瓶包裝、運輸、儲存或少量采用槽車運輸。在鋼瓶(儲罐)內的狀態有氣體及液體。根據生產工藝所使用的特種氣體物化性質、耗量、品質要求，在電子工廠內應合理設置儲存、分配系統。

10．4．2 本條規定的特種氣體儲存分配間是指電子工業潔凈廠房中設置特氣柜的專用房間，該特氣柜間屬于潔凈廠房中的生產輔助房間，通常設在靠外墻的邊跨中，有時為了平面布局的需要也可設在其他場所。該特氣間生產危險性類別的劃分應根據放置的特氣種類確定，而電子工業潔凈廠房中的特氣間常常設有可燃性、毒性、氧化性特種氣體，所以應按甲、乙類生產類別進行設計。參照現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016—2006中的相關規定，在甲、乙、丙類廠房內，布置有不同類別火災危險性的房間的隔墻應采用耐火極限不低于2．0h的不燃燒體，隔墻上的門窗應為甲級防火門窗。并根據多年的工程實踐，制定本條規定，并為強制性條文。

10．4．3 可燃或有毒的特種氣體具有對安全生產、人員健康極大的危害，因此本條的第1～3款對其分配系統的設置作了強制性規定：
1 特種氣體鋼瓶及其分配系統應設在具有連續機械排風的特氣柜中，該特氣柜應配有氣體泄漏檢測報警系統、手動或自動切換系統、自動切斷輸送氣體及自動吹掃的設施。氣體泄漏檢測報警系統應與事故機械排風機聯鎖。該特氣柜設排風裝置，并應排入相應的生產廢氣處理系統，經集中處理達標后，方能排放至大氣。對儲存高危害性特種氣體的鋼瓶柜應配置就地廢氣處理裝置，經集中處理達標后，才能排入上述相應的生產廢氣處理系統。
2 為確保連續不中斷運行，分配系統所設置的自控系統、報警系統及與之所聯鎖的事故排風機的電源，均應設應急電源。
3 特種氣體系統的閥門、附件及連接件都應設在多路閥門箱(盤)(VMB或VMP)內，該閥門箱／盤均設機械排風裝置、氣體泄漏檢測及聲光報警系統，并能在事故發生時及時切斷氣體供應和啟動所聯鎖的事故排風機，排入相應的生產廢氣處理系統。

10．4．4 特種氣體分配系統中，具有危害性的特種氣體鋼瓶氣源應配備吹掃盤，為此本條作了相應規定。
1 現將美國消防協會發布的NFPA 318《潔凈室消防標準》第6．3節有關特種氣體吹掃盤的相關規定摘要如下：
1)所有危險的壓縮工藝氣體鋼瓶在使用時，應設置吹掃盤；
2)選用的吹掃盤所使用的管道、配件的材料與所輸送的氣體應具有相容性；
3)應設置過流量控制，并設緊急切斷閥；
4)只有用于相容氣體的吹掃盤，才容許共用吹掃氣瓶；
5)設手動切斷閥，以便將吹掃盤整體取下進行修理。
2 吹掃盤的吹掃氣源一般采用以下兩種方式．
1)采用常用氣體輸配系統作為吹掃氣源，系統應設置防回流措施，以防止吹掃氣體與其他工藝特氣的交叉污染；
2)采用專用吹掃氣體鋼瓶或鋼瓶組作為吹掃氣源，對物化性質不相容的兩個或兩個以上特氣鋼瓶氣源所配置的吹掃盤，不允許合用一氣體鋼瓶或鋼瓶組吹掃氣源。

10．4．5 本條規定硅烷或硅烷混合物氣瓶應存放在電子工業潔凈廠房建筑外的儲存區內，并規定了這類儲存區設置的相關規定。這些規定，主要是參考了美國消防協會發布的NFPA 318((潔凈室消防標準》第6．4節的有關規定：
1 儲存區必須是三面敞開的，氣瓶用鋼制框架保護。
2 氣瓶與周圍構筑物及圍欄最小間距應大于等于95英尺(約2．7m)。
3 當儲存區設有雨篷時，其凈高應為12英尺(約3．7m)。