10 氣體供應(yīng)
10．1 一般規(guī)定
10．1．1 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。
10．1．2 常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。
10．1．3 潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲(chǔ)存、分配系統(tǒng)，除應(yīng)符合本規(guī)范外，還應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016、《氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50177和《氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50030等的有關(guān)規(guī)定。
10．1．4 潔凈廠房內(nèi)的氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。當(dāng)與水、電管線共架時(shí)，比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水、電管線上部。
10．1．5 潔凈室(區(qū))內(nèi)的可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷，穿過潔凈室(區(qū))的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。
10．1．6 可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間；當(dāng)必須穿過時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層管。
10．1．7 高純氣體管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 管徑應(yīng)按氣體容許流量、壓力或生產(chǎn)工藝設(shè)備確定，管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm，
2 不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間，
3 管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。
10．1．8 潔凈廠房的可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列安全設(shè)施：
1 可燃?xì)怏w管道設(shè)置閥門時(shí)應(yīng)設(shè)置閥門箱，閥門箱應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警和事故排風(fēng)裝置，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖；
2 接至用氣設(shè)備的支管和放散管，宜設(shè)置阻火設(shè)施；
3 引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)置防雷保護(hù)設(shè)施，
4 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
10．1．9 氣體過濾器應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體潔凈度的要求進(jìn)行選擇和配置。終端氣體過濾器應(yīng)設(shè)置在靠近用氣點(diǎn)處。
10．2 常用氣體系統(tǒng)
10．2．1 常用氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜在工廠內(nèi)或鄰近處設(shè)置制氣裝置或采用外購液態(tài)氣體、瓶裝氣體。
10．2．2 氫氣、氧氣管道的終端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)置放散管。氫氣放散管口應(yīng)設(shè)置阻火器。放散管引至室外，應(yīng)高出本建筑的屋脊1m，并應(yīng)采取防雨、防雜物侵入的措施。
10．2．3 氣體純化裝置的設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：
1 氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇；
2 氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間(站)內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時(shí)，氣體純化間宜與氣體入口室合建；
3 各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間(站)內(nèi)。若有特殊要求時(shí)，也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi)；
4 氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。
10．2．4 進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等，宜集中設(shè)置在氣體入口室。
10．2．5 氣體純化間(站)或氣體入口室內(nèi)，設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w純化裝置或管道時(shí)，氣體純化間(站)或氣體入口室的火災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)按甲類確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；
2 氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥；
3 應(yīng)具有良好的自然通風(fēng)，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置；
4 應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖；
5 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
10．2．6 潔凈廠房內(nèi)的氧氣管道等，應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：
1 管道及閥門、附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格的脫脂處理；
2 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施；
3 氧氣引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥。
10．2．7 各種常用氣體的氣瓶庫應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。當(dāng)日用氣量不超過1瓶時(shí)，氣瓶可設(shè)置在潔凈室(區(qū))內(nèi)，但應(yīng)采取不積塵和易于清潔的措施。
10．2．8 氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，宜符合下列規(guī)定：
1 氣體純度大于或等于99.999999％時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管，閥門應(yīng)采用隔膜閥；
2 氣體純度大于或等于99．999％、露點(diǎn)低于-76℃時(shí)，宜采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光的不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥；
3 氣體純度大于或等于99．99％、露點(diǎn)低于-60℃時(shí)，宜采用內(nèi)壁拋光的不銹鋼管，除可燃?xì)怏w管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥；
4 氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。
10．2．9 氣體管道連接，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 管道連接應(yīng)采用焊接，
2 不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，宜采用自動(dòng)氬弧焊或等離子熔融對(duì)接焊；
3 管道與設(shè)備或閥門的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；
4 管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備連接的要求。當(dāng)采用軟管連接時(shí)，宜采用金屬軟管。
10．3 干燥壓縮空氣系統(tǒng)
10．3．1 潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定，
1 供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計(jì)入必要損耗量確定，并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量；
2 供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定；
3 供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動(dòng)力站；
4 應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備，宜選用無油潤滑空氣壓縮機(jī)；
5 含水量要求嚴(yán)格時(shí)，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。
10．3．2 干燥壓縮空氣管道內(nèi)輸送露點(diǎn)低于-76℃時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光不銹鋼管；露點(diǎn)低于-40℃時(shí)，宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。
10．3．3 管道連接應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 宜采用焊接，不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊；
2 含水量露點(diǎn)嚴(yán)于-40℃時(shí)，用于管道連接的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；
3 當(dāng)采用軟管連接時(shí)，宜采用金屬軟管。
10．4 特種氣體系統(tǒng)
10．4．1 特種氣體應(yīng)采用外購鋼瓶氣體、液態(tài)氣體供應(yīng)，在電子工廠內(nèi)應(yīng)設(shè)置儲(chǔ)存、分配系統(tǒng)。
10．4．2 潔凈廠房內(nèi)特種氣體的儲(chǔ)存分配間應(yīng)采用耐火極限不低于2．0h不燃燒體的隔墻與潔凈室(區(qū))分隔，隔墻上的門窗應(yīng)為甲級(jí)防火門窗。
10．4．3 潔凈室(區(qū))內(nèi)可燃或有毒的特種氣體分配系統(tǒng)的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 特種氣體鋼瓶(含硅烷或硅烷混合物)應(yīng)設(shè)置在具有連續(xù)機(jī)械排風(fēng)的特氣柜中；
2 排風(fēng)機(jī)、泄漏報(bào)警、自動(dòng)切斷閥均應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；
3 一個(gè)特氣分配系統(tǒng)供多臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備使用時(shí)，應(yīng)設(shè)置多路閥門箱；
4 可燃性、氧化性特種氣體管道的設(shè)置應(yīng)符合本規(guī)范第10．1和10．2節(jié)的有關(guān)規(guī)定。
10．4．4 特種氣體分配系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃盤，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 應(yīng)設(shè)置應(yīng)急切斷裝置；
2 應(yīng)設(shè)置過流量控制裝置，
3 應(yīng)設(shè)置手動(dòng)隔離閥；
4 吹掃氣源不宜采用常用氣體系統(tǒng)；
5 不相容特種氣體的吹掃盤不得共用吹掃氣瓶。
10．4．5 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應(yīng)存放在潔凈廠房建筑外的儲(chǔ)存區(qū)內(nèi)。儲(chǔ)存區(qū)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 儲(chǔ)存區(qū)應(yīng)至少三面敞開，氣瓶應(yīng)固定在鋼制框架上；
2 氣瓶或氣瓶組與周圍的構(gòu)筑物或圍欄的間距應(yīng)大于3．0m；
3 儲(chǔ)存區(qū)頂棚的高度應(yīng)大于3．5m。
